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普照材料高精度石英掩膜基版样品试制项目通过省科技厅验收

发表时间:2024-06-11 09:15:52 来源:省国资委网站 编辑:马菀倬

近日,湖南能源集团所属湖南普照信息材料有限公司(以下简称“普照材料”)承担的湖南省高新技术产业科技创新引领计划“高精度石英掩膜基版样品试制项目”顺利通过湖南省科技厅验收,获评价结论“优秀”。

湖南省科技创新计划项目是围绕湖南省科技、经济和社会发展重大战略,面向科技前沿、面向经济建设主战场、面向湖南省重大科技需求,专门用于支持基础研究、技术研发、成果转化以及其他创新能力提升的科技活动。

项目验收采用同行评议、第三方评估和测试、用户评价、现场核查等方式开展一次性综合绩效评价。

普照材料“高精度石英掩膜基版样品试制项目”总投资约2000万元,通过自主研发和合作开发,达成了TFT用石英基板产品平面度和平行度高性能指标要求,攻克了Thin film膜系及PSM钼硅膜系关键核心技术,为建设中的8.5代及以下高精度掩模基板项目实施提供了关键技术支持,同时为公司产品向半导体用掩模基板迭代升级打下坚实基础。

下阶段,普照材料将持续加大新技术、新工艺的研发应用投入,加强研发平台建设,形成“以屏带芯,屏芯齐进”的战略布局,为我国平板显示与半导体产业链发展贡献力量。

责编:马菀倬

来源:省国资委网站

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